Tagasi

IEC 62047-21:2014

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

Üldinfo
Kehtiv alates 19.06.2014
Tegevusala (ICS grupid)
31.080.99 Muud pooljuhtseadised
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
19.06.2014
Põhitekst
IEC 62047-21:2014 specifies the determination of Poisson's ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.
*
*
*
PDF
104,90 € koos KM-ga
Paber
104,90 € koos KM-ga
Standardi monitooring