Tagasi

ISO 23131-3:2026

Ellipsometry — Part 3: Transparent single layer model

Üldinfo

Kehtiv alates 30.01.2026
Tegevusala (ICS grupid)
17.020 Metroloogia ja mõõtmise üldküsimused
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
30.01.2026
Põhitekst
ISO 23131-3:2026
This document uses ellipsometric measurements and their analysis to specify the method for the determination of the layer thickness d of a transparent layer and the optical (refractive index n) or dielectric (real part ε1) constants/functions based on the transparent single layer model within a spectral region, for which k = 0 applies.

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
212,09 € koos KM-ga
Paber
212,09 € koos KM-ga
Standardi monitooring
Inglise (PDF 715 KB)

Seotud tooted

Põhitekst

EVS-EN ISO 10012:2007

Mõõtehaldussüsteemid. Nõuded mõõteprotsessidele ja mõõteseadmestikele
Uusim versioon Kehtiv alates 09.02.2004
Põhitekst

EVS-EN IEC 61010-2-201:2018

Ohutusnõuded elektrilistele mõõtmis-, juhtimis- ja laboratooriumiseadmetele. Osa 2-201: Erinõuded juhtimisseadmetele
Kehtetu alates 16.12.2024
Põhitekst

EVS 745:2010

Kauba ja materjali massi mõõtmine kaalumisega. Mõõtemetoodika
Uusim versioon Kehtiv alates 04.10.2010
Põhitekst

EVS 758:2009

Metroloogia. Terminid ja määratlused
Uusim versioon Kehtiv alates 03.12.2009

Standardite lühendid

EVS Eesti standard
EN Euroopa standard (avaldatud Euroopa standardimisorganisatsioonide CEN või CENELEC poolt)
EN ISO Euroopa standardina avaldatud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
ISO Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard
HD Euroopa Elektrotehnika Standardimiskomitee harmoneerimisdokument
   
EVS-EN Euroopa standard avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard ja avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO/IEC Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard/Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-ISO Rahvusvaheline standard avaldatud Eesti standardina
   
A, AMD muudatus
+A standardi tekst ja muudatus
/A ainult muudatus
COR, AC parandus
+COR Standardi tekst ja parandus
NA rahvuslik lisa
+NA standardi tekst ja rahvuslik lisa
/NA ainult rahvuslik lisa
TS tehniline spetsifikatsioon
TR tehniline aruanne
CWA CENi või CENELECi töörühma kokkulepe
prEVS-EN (jne) standardi kavand
   
et standard on eesti keeles
en standard on inglise keeles
et-en standard on paralleeltekstina eesti-inglise keeles