Skip to main content
Tagasi

IEC 62047-30:2017

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

Üldinfo

Kehtiv alates 15.09.2017
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
15.09.2017
Põhitekst
IEC 62047-30:2017(E) specifies measuring methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film used for micro sensors and micro actuators, and its reporting schema to determine the characteristic parameters for consumer, industry or any other applications of piezoelectric devices. This document applies to piezoelectric thin films fabricated by MEMS process

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
150,78 € koos KM-ga
Paber
150,78 € koos KM-ga
Standardi monitooring