Tagasi

IEC TR 63258:2021

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

Üldinfo

Kehtiv alates 19.03.2021
Tegevusala (ICS grupid)
07.120 Nanotehnoloogiad
Direktiivid või määrused
puuduvad

Standardi ajalugu

Staatus
Kuupäev
Tüüp
Nimetus
19.03.2021
Põhitekst
IEC TR 63258:2021
IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.

Nõutud väljad on tähistatud *

*
*
*
PDF
196,66 € koos KM-ga
Paber
196,66 € koos KM-ga
Standardi monitooring
Inglise (PDF 871 KB)

Seotud tooted

Põhitekst

CEN ISO/TR 18401:2020

Nanotechnologies - Plain language explanation of selected terms from the ISO/IEC 80004 series (ISO/TR 18401:2017)
Uusim versioon Kehtiv alates 01.07.2020
Põhitekst

EVS-EN ISO 29701:2010

Nanotechnologies - Endotoxin test on nanomaterial samples for in vitro systems - Limulus amebocyte lysate (LAL) test
Uusim versioon Kehtiv alates 04.11.2010
Põhitekst

ISO/TR 13014:2012

Nanotechnologies -- Guidance on physico-chemical characterization of engineered nanoscale materials for toxicologic assessment
Uusim versioon Kehtiv alates 08.05.2012
Põhitekst

CEN ISO/TS 80004-1:2015

Nanotehnoloogiad. Sõnastik. Osa 1: Tuumik-sõnavara
Kehtetu alates 01.09.2023

Standardite lühendid

EVS Eesti standard
EN Euroopa standard (avaldatud Euroopa standardimisorganisatsioonide CEN või CENELEC poolt)
EN ISO Euroopa standardina avaldatud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
ISO Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard
IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard
HD Euroopa Elektrotehnika Standardimiskomitee harmoneerimisdokument
   
EVS-EN Euroopa standard avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard ja avaldatud Eesti standardina
EVS-EN ISO/IEC Euroopa standardina ülevõetud Rahvusvahelise Standardimisorganisatsiooni standard/Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-IEC Rahvusvahelise Elektrotehnika Komisjoni standard avaldatud Eesti standardina
EVS-ISO Rahvusvaheline standard avaldatud Eesti standardina
   
A, AMD muudatus
+A standardi tekst ja muudatus
/A ainult muudatus
COR, AC parandus
+COR Standardi tekst ja parandus
NA rahvuslik lisa
+NA standardi tekst ja rahvuslik lisa
/NA ainult rahvuslik lisa
TS tehniline spetsifikatsioon
TR tehniline aruanne
CWA CENi või CENELECi töörühma kokkulepe
prEVS-EN (jne) standardi kavand
   
et standard on eesti keeles
en standard on inglise keeles
et-en standard on paralleeltekstina eesti-inglise keeles